高纯度定制型铜靶材(4N-6N)
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挤压成型高纯度铜异形溅射靶材——工艺及质量保证声明
我们生产的挤压成型铜靶材专为需要复杂几何形状和在非标准表面上均匀沉积的应用而设计,而传统的平面靶材则无法满足这些应用的需求。
关键工艺特征
挤压成型工艺可确保优异的材料性能和形状保真度:
●高纯度起始原料:精选经验证氧含量和杂质含量低的电解铜。
●真空熔炼和合金化:反复真空感应熔炼可实现纯度为 4N-6N 的均匀成分。
●坯料制备:铸造成圆柱形坯料,然后进行均质化处理以获得均匀的晶粒。
●热挤压:通过定制模具进行精密热挤压,形成具有优异密度和流动性的复杂横截面。
●冷加工和退火:通过控制拉拔和热处理来细化组织并消除应力。
●精密加工:CNC加工和表面抛光在所有型材表面上形成光滑的溅射面。
●粘合服务:可选择将低熔点铟粘合到兼容的背衬管或板上。
●洁净室处理:最终清洁和真空包装可防止污染。
质量控制系统
● 从原始铜阴极到成品异形靶材,全程可追溯
● 每次交付均包含完整的认证文件包
● 存档样品保存≥3年,用于第三方分析(SGS、BV等)。
● 关键属性100%检验:
• 纯度和元素分析(GDMS/ICP-MS;典型氧含量<5 ppm)
• 密度验证(挤压成型,理论密度>99%)
• 微观结构和晶粒均匀性(金相检验)
• 轮廓尺寸精度(3D 三坐标测量机;典型公差为 ±0.1mm)
• 表面光洁度和无缺陷状况(轮廓仪测量+目视检查)
● 内部标准优于 ASTM F68 要求。典型挤压性能:优异的导电性(>400 W/m·K)、溅射过程中优异的形状保持性、在复杂的磁控溅射配置中性能稳定。
● 符合洁净室标准的操作和 ISO 9001:2015 认证的生产保证了可靠的、高性能的目标,以满足您特殊的涂层需求。
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